അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ മൈക്രോ-നാനോ നിർമ്മാണ-വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ

അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറുകൾ പതിറ്റാണ്ടുകളായി നിലവിലുണ്ടെങ്കിലും, കഴിഞ്ഞ രണ്ട് ദശകങ്ങളിൽ വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ അതിവേഗം വളർന്നു. 2019-ൽ, അൾട്രാഫാസ്റ്റിന്റെ വിപണി മൂല്യംലേസർ മെറ്റീരിയൽപ്രോസസ്സിംഗ് ഏകദേശം 460 മില്യൺ യുഎസ് ഡോളറായിരുന്നു, സംയുക്ത വാർഷിക വളർച്ചാ നിരക്ക് 13%. വ്യാവസായിക വസ്തുക്കൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുന്നതിന് അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറുകൾ വിജയകരമായി ഉപയോഗിച്ചിട്ടുള്ള ആപ്ലിക്കേഷൻ മേഖലകളിൽ സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലെ ഫോട്ടോമാസ്ക് ഫാബ്രിക്കേഷൻ, റിപ്പയർ, മൊബൈൽ ഫോണുകൾ, ടാബ്‌ലെറ്റുകൾ തുടങ്ങിയ ഉപഭോക്തൃ ഇലക്ട്രോണിക്‌സിൽ സിലിക്കൺ ഡൈസിംഗ്, ഗ്ലാസ് കട്ടിംഗ്/സ്‌ക്രൈബിംഗ്, (ഇൻഡിയം ടിൻ ഓക്സൈഡ്) ഐടിഒ ഫിലിം നീക്കം ചെയ്യൽ, ഓട്ടോമോട്ടീവ് വ്യവസായത്തിനായുള്ള പിസ്റ്റൺ ടെക്സ്ചറിംഗ്, കൊറോണറി സ്റ്റെന്റ് നിർമ്മാണം, മെഡിക്കൽ വ്യവസായത്തിനായുള്ള മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക് ഉപകരണ നിർമ്മാണം എന്നിവ ഉൾപ്പെടുന്നു.

01 സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലെ ഫോട്ടോമാസ്ക് നിർമ്മാണവും നന്നാക്കലും

മെറ്റീരിയൽ പ്രോസസ്സിംഗിലെ ആദ്യകാല വ്യാവസായിക ആപ്ലിക്കേഷനുകളിലൊന്നിൽ അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറുകൾ ഉപയോഗിച്ചിരുന്നു. 1990-കളിൽ ഫോട്ടോമാസ്ക് നിർമ്മാണത്തിൽ ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ അബ്ലേഷന്റെ പ്രയോഗത്തെക്കുറിച്ച് ഐബിഎം റിപ്പോർട്ട് ചെയ്തു. ലോഹ സ്പാറ്ററും ഗ്ലാസിന് കേടുപാടുകളും ഉണ്ടാക്കാൻ കഴിയുന്ന നാനോസെക്കൻഡ് ലേസർ അബ്ലേഷനുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ മാസ്കുകൾ ലോഹ സ്പാറ്ററോ ഗ്ലാസിന് കേടുപാടുകളോ കാണിക്കുന്നില്ല. ഗുണങ്ങൾ. ഇന്റഗ്രേറ്റഡ് സർക്യൂട്ടുകൾ (ഐസി) നിർമ്മിക്കാൻ ഈ രീതി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഒരു ഐസി ചിപ്പ് നിർമ്മിക്കുന്നതിന് 30 മാസ്കുകൾ വരെ ആവശ്യമായി വന്നേക്കാം, കൂടാതെ $100,000 ത്തിലധികം ചിലവാകും. ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗിന് 150nm-ൽ താഴെയുള്ള ലൈനുകളും പോയിന്റുകളും പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും.

ചിത്രം 1. ഫോട്ടോമാസ്ക് നിർമ്മാണവും നന്നാക്കലും

ചിത്രം 2. അങ്ങേയറ്റത്തെ അൾട്രാവയലറ്റ് ലിത്തോഗ്രാഫിക്ക് വേണ്ടി വ്യത്യസ്ത മാസ്ക് പാറ്റേണുകളുടെ ഒപ്റ്റിമൈസേഷൻ ഫലങ്ങൾ.

02 സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലെ സിലിക്കൺ കട്ടിംഗ്

സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിലെ ഒരു സ്റ്റാൻഡേർഡ് നിർമ്മാണ പ്രക്രിയയാണ് സിലിക്കൺ വേഫർ ഡൈസിംഗ്, സാധാരണയായി മെക്കാനിക്കൽ ഡൈസിംഗ് ഉപയോഗിച്ചാണ് ഇത് നടത്തുന്നത്. ഈ കട്ടിംഗ് വീലുകളിൽ പലപ്പോഴും മൈക്രോക്രാക്കുകൾ ഉണ്ടാകുകയും നേർത്ത (ഉദാ: 150 μm നും താഴെ) വേഫറുകൾ മുറിക്കാൻ പ്രയാസവുമാണ്. സെമികണ്ടക്ടർ വ്യവസായത്തിൽ, പ്രത്യേകിച്ച് നേർത്ത വേഫറുകൾക്ക് (100-200μm) ലേസർ കട്ടിംഗ് ഉപയോഗിച്ചുവരുന്നു, ഇത് ഒന്നിലധികം ഘട്ടങ്ങളിലായാണ് നടത്തുന്നത്: ലേസർ ഗ്രൂവിംഗ്, തുടർന്ന് മെക്കാനിക്കൽ വേർതിരിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ സ്റ്റെൽത്ത് കട്ടിംഗ് (അതായത് സിലിക്കൺ സ്‌ക്രൈബിംഗിനുള്ളിലെ ഇൻഫ്രാറെഡ് ലേസർ ബീം) തുടർന്ന് മെക്കാനിക്കൽ ടേപ്പ് വേർതിരിക്കൽ. നാനോസെക്കൻഡ് പൾസ് ലേസറിന് മണിക്കൂറിൽ 15 വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, പിക്കോസെക്കൻഡ് ലേസറിന് മണിക്കൂറിൽ 23 വേഫറുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യാൻ കഴിയും, ഉയർന്ന നിലവാരത്തിൽ.

03 ഉപഭോഗ ഇലക്ട്രോണിക്സ് വ്യവസായത്തിൽ ഗ്ലാസ് കട്ടിംഗ്/സ്ക്രൈബിംഗ്

മൊബൈൽ ഫോണുകൾക്കും ലാപ്‌ടോപ്പുകൾക്കുമുള്ള ടച്ച് സ്‌ക്രീനുകളും സംരക്ഷണ ഗ്ലാസുകളും കനംകുറഞ്ഞതായിക്കൊണ്ടിരിക്കുകയാണ്, ചില ജ്യാമിതീയ രൂപങ്ങൾ വളഞ്ഞതുമാണ്. ഇത് പരമ്പരാഗത മെക്കാനിക്കൽ കട്ടിംഗ് കൂടുതൽ ബുദ്ധിമുട്ടാക്കുന്നു. സാധാരണ ലേസറുകൾ സാധാരണയായി മോശം കട്ട് ഗുണനിലവാരം നൽകുന്നു, പ്രത്യേകിച്ചും ഈ ഗ്ലാസ് ഡിസ്‌പ്ലേകൾ 3-4 പാളികളായി അടുക്കി വച്ചിരിക്കുകയും മുകളിലെ 700 μm കട്ടിയുള്ള സംരക്ഷണ ഗ്ലാസ് ടെമ്പർ ചെയ്യുകയും ചെയ്യുമ്പോൾ, പ്രാദേശികവൽക്കരിച്ച സമ്മർദ്ദം മൂലം ഇത് പൊട്ടിപ്പോകും. അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറുകൾക്ക് ഈ ഗ്ലാസുകൾ മികച്ച എഡ്ജ് ശക്തിയോടെ മുറിക്കാൻ കഴിയുമെന്ന് കാണിച്ചിട്ടുണ്ട്. വലിയ ഫ്ലാറ്റ് പാനൽ കട്ടിംഗിനായി, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ ഗ്ലാസ് ഷീറ്റിന്റെ പിൻഭാഗത്ത് ഫോക്കസ് ചെയ്യാനും മുൻവശത്തെ ഉപരിതലത്തിന് കേടുപാടുകൾ വരുത്താതെ ഗ്ലാസിന്റെ ഉള്ളിൽ മാന്തികുഴിയുണ്ടാക്കാനും കഴിയും. സ്കോർ ചെയ്ത പാറ്റേണിനൊപ്പം മെക്കാനിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ തെർമൽ മാർഗങ്ങൾ ഉപയോഗിച്ച് ഗ്ലാസ് തകർക്കാൻ കഴിയും.

ചിത്രം 3. പിക്കോസെക്കൻഡ് അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ ഗ്ലാസ് പ്രത്യേക ആകൃതിയിലുള്ള കട്ടിംഗ്

04 ഓട്ടോമോട്ടീവ് വ്യവസായത്തിലെ പിസ്റ്റൺ ടെക്സ്ചറുകൾ

ഭാരം കുറഞ്ഞ കാർ എഞ്ചിനുകൾ അലുമിനിയം അലോയ്കൾ കൊണ്ടാണ് നിർമ്മിച്ചിരിക്കുന്നത്, അവ കാസ്റ്റ് ഇരുമ്പ് പോലെ തേയ്മാനം പ്രതിരോധശേഷിയുള്ളവയല്ല. കാർ പിസ്റ്റൺ ടെക്സ്ചറുകളുടെ ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ് ഘർഷണം 25% വരെ കുറയ്ക്കാൻ സഹായിക്കുമെന്ന് പഠനങ്ങൾ കണ്ടെത്തിയിട്ടുണ്ട്, കാരണം അവശിഷ്ടങ്ങളും എണ്ണയും ഫലപ്രദമായി സംഭരിക്കാൻ കഴിയും.

ചിത്രം 4. എഞ്ചിൻ പ്രകടനം മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനായി ഓട്ടോമൊബൈൽ എഞ്ചിൻ പിസ്റ്റണുകളുടെ ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ്

05 മെഡിക്കൽ വ്യവസായത്തിലെ കൊറോണറി സ്റ്റെന്റ് നിർമ്മാണം

ദശലക്ഷക്കണക്കിന് കൊറോണറി സ്റ്റെന്റുകൾ ശരീരത്തിലെ കൊറോണറി ധമനികളിൽ ഘടിപ്പിച്ച് രക്തം കട്ടപിടിച്ച പാത്രങ്ങളിലേക്ക് ഒഴുകുന്നതിനുള്ള ഒരു ചാനൽ തുറക്കുന്നു, ഇത് എല്ലാ വർഷവും ദശലക്ഷക്കണക്കിന് ജീവൻ രക്ഷിക്കുന്നു. കൊറോണറി സ്റ്റെന്റുകൾ സാധാരണയായി ലോഹം (ഉദാ: സ്റ്റെയിൻലെസ് സ്റ്റീൽ, നിക്കൽ-ടൈറ്റാനിയം ഷേപ്പ് മെമ്മറി അലോയ്, അല്ലെങ്കിൽ അടുത്തിടെ കൊബാൾട്ട്-ക്രോമിയം അലോയ്) ഉപയോഗിച്ച് നിർമ്മിച്ചതാണ്, ഏകദേശം 100 μm സ്ട്രറ്റ് വീതിയുള്ള വയർ മെഷ്. ലോംഗ്-പൾസ് ലേസർ കട്ടിംഗുമായി താരതമ്യപ്പെടുത്തുമ്പോൾ, ബ്രാക്കറ്റുകൾ മുറിക്കാൻ അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറുകൾ ഉപയോഗിക്കുന്നതിന്റെ ഗുണങ്ങൾ ഉയർന്ന കട്ട് ഗുണനിലവാരം, മികച്ച ഉപരിതല ഫിനിഷ്, കുറഞ്ഞ അവശിഷ്ടങ്ങൾ എന്നിവയാണ്, ഇത് പോസ്റ്റ്-പ്രോസസ്സിംഗ് ചെലവ് കുറയ്ക്കുന്നു.

06 മെഡിക്കൽ വ്യവസായത്തിനായുള്ള മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക് ഉപകരണ നിർമ്മാണം

രോഗ പരിശോധനയ്ക്കും രോഗനിർണയത്തിനുമായി മെഡിക്കൽ വ്യവസായത്തിൽ മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക് ഉപകരണങ്ങൾ സാധാരണയായി ഉപയോഗിക്കുന്നു. ഇവ സാധാരണയായി വ്യക്തിഗത ഭാഗങ്ങളുടെ മൈക്രോ-ഇഞ്ചക്ഷൻ മോൾഡിംഗ് നടത്തിയും ഗ്ലൂയിംഗ് അല്ലെങ്കിൽ വെൽഡിംഗ് ഉപയോഗിച്ച് ബോണ്ടിംഗ് നടത്തിയുമാണ് നിർമ്മിക്കുന്നത്. മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക് ഉപകരണങ്ങളുടെ അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ ഫാബ്രിക്കേഷന് കണക്ഷനുകളുടെ ആവശ്യമില്ലാതെ ഗ്ലാസ് പോലുള്ള സുതാര്യമായ വസ്തുക്കൾക്കുള്ളിൽ 3D മൈക്രോചാനലുകൾ നിർമ്മിക്കാനുള്ള ഗുണമുണ്ട്. ഒരു രീതി ബൾക്ക് ഗ്ലാസിനുള്ളിൽ അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ ഫാബ്രിക്കേഷനും തുടർന്ന് നനഞ്ഞ കെമിക്കൽ എച്ചിംഗും ആണ്, മറ്റൊന്ന് ഗ്ലാസിനുള്ളിലോ പ്ലാസ്റ്റിക്കിലോ ഉള്ള ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ അബ്ലേഷൻ ആണ്, അവശിഷ്ടങ്ങൾ നീക്കം ചെയ്യുക എന്നതാണ്. മറ്റൊരു സമീപനം ഗ്ലാസ് പ്രതലത്തിലേക്ക് ചാനലുകൾ മെഷീൻ ചെയ്ത് ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ വെൽഡിംഗ് വഴി ഒരു ഗ്ലാസ് കവർ ഉപയോഗിച്ച് അവയെ അടയ്ക്കുക എന്നതാണ്.

ചിത്രം 6. ഗ്ലാസ് വസ്തുക്കൾക്കുള്ളിൽ മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക് ചാനലുകൾ തയ്യാറാക്കുന്നതിനുള്ള ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ-ഇൻഡ്യൂസ്ഡ് സെലക്ടീവ് എച്ചിംഗ്

07 ഇൻജക്ടർ നോസിലിന്റെ മൈക്രോ ഡ്രില്ലിംഗ്

ഫ്ലോ ഹോൾ പ്രൊഫൈലുകൾ മാറ്റുന്നതിൽ കൂടുതൽ വഴക്കവും കുറഞ്ഞ മെഷീനിംഗ് സമയവും കാരണം ഉയർന്ന മർദ്ദത്തിലുള്ള ഇൻജക്ടർ വിപണിയിലെ പല കമ്പനികളിലും ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ മൈക്രോഹോൾ മെഷീനിംഗ് മൈക്രോ-ഇഡിഎമ്മിനെ മാറ്റിസ്ഥാപിച്ചു. പ്രീസെസ്സിംഗ് സ്കാൻ ഹെഡിലൂടെ ബീമിന്റെ ഫോക്കസ് പൊസിഷനും ടിൽറ്റും സ്വയമേവ നിയന്ത്രിക്കാനുള്ള കഴിവ്, ജ്വലന അറയിൽ ആറ്റോമൈസേഷൻ അല്ലെങ്കിൽ നുഴഞ്ഞുകയറ്റം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കാൻ കഴിയുന്ന അപ്പർച്ചർ പ്രൊഫൈലുകളുടെ (ഉദാ: ബാരൽ, ഫ്ലെയർ, കൺവെർജൻസ്, ഡൈവേർജൻസ്) രൂപകൽപ്പനയിലേക്ക് നയിച്ചു. ഡ്രില്ലിംഗ് സമയം അബ്ലേഷൻ വോളിയത്തെ ആശ്രയിച്ചിരിക്കുന്നു, ഡ്രിൽ കനം 0.2 - 0.5 മില്ലിമീറ്ററും ഹോൾ വ്യാസം 0.12 - 0.25 മില്ലിമീറ്ററുമാണ്, ഇത് ഈ സാങ്കേതികതയെ മൈക്രോ-ഇഡിഎമ്മിനേക്കാൾ പത്തിരട്ടി വേഗത്തിലാക്കുന്നു. ത്രൂ-പൈലറ്റ് ഹോളുകളുടെ റഫിംഗ്, ഫിനിഷിംഗ് എന്നിവ ഉൾപ്പെടെ മൂന്ന് ഘട്ടങ്ങളിലായാണ് മൈക്രോഡ്രില്ലിംഗ് നടത്തുന്നത്. ഓക്‌സിഡേഷനിൽ നിന്ന് ബോർഹോളിനെ സംരക്ഷിക്കുന്നതിനും പ്രാരംഭ ഘട്ടങ്ങളിൽ അന്തിമ പ്ലാസ്മയെ സംരക്ഷിക്കുന്നതിനും ആർഗൺ ഒരു സഹായ വാതകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നു.

ചിത്രം 7. ഡീസൽ എഞ്ചിൻ ഇൻജക്ടറിനുള്ള വിപരീത ടേപ്പർ ഹോളിന്റെ ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ ഹൈ-പ്രിസിഷൻ പ്രോസസ്സിംഗ്

08 അൾട്രാ-ഫാസ്റ്റ് ലേസർ ടെക്സ്ചറിംഗ്

സമീപ വർഷങ്ങളിൽ, മെഷീനിംഗ് കൃത്യത മെച്ചപ്പെടുത്തുന്നതിനും, മെറ്റീരിയൽ കേടുപാടുകൾ കുറയ്ക്കുന്നതിനും, പ്രോസസ്സിംഗ് കാര്യക്ഷമത വർദ്ധിപ്പിക്കുന്നതിനുമായി, മൈക്രോമാച്ചിംഗ് മേഖല ക്രമേണ ഗവേഷകരുടെ ശ്രദ്ധാകേന്ദ്രമായി മാറിയിരിക്കുന്നു. അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറിന് കുറഞ്ഞ കേടുപാടുകൾ, ഉയർന്ന കൃത്യത തുടങ്ങിയ വിവിധ പ്രോസസ്സിംഗ് ഗുണങ്ങളുണ്ട്, ഇത് പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യയുടെ വികസനം പ്രോത്സാഹിപ്പിക്കുന്നതിന്റെ കേന്ദ്രബിന്ദുവായി മാറിയിരിക്കുന്നു. അതേസമയം, അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസറുകൾക്ക് വിവിധ വസ്തുക്കളിൽ പ്രവർത്തിക്കാൻ കഴിയും, കൂടാതെ ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗ് മെറ്റീരിയൽ കേടുപാടുകളും ഒരു പ്രധാന ഗവേഷണ ദിശയാണ്. അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ മെറ്റീരിയലുകളെ അബ്ലേറ്റ് ചെയ്യാൻ ഉപയോഗിക്കുന്നു. ലേസറിന്റെ ഊർജ്ജ സാന്ദ്രത മെറ്റീരിയലിന്റെ അബ്ലേഷൻ പരിധിയേക്കാൾ കൂടുതലാകുമ്പോൾ, അബ്ലേറ്റഡ് മെറ്റീരിയലിന്റെ ഉപരിതലം ചില സ്വഭാവസവിശേഷതകളുള്ള ഒരു മൈക്രോ-നാനോ ഘടന കാണിക്കും. ലേസർ മെറ്റീരിയലുകൾ പ്രോസസ്സ് ചെയ്യുമ്പോൾ സംഭവിക്കുന്ന ഒരു സാധാരണ പ്രതിഭാസമാണ് ഈ പ്രത്യേക ഉപരിതല ഘടനയെന്ന് ഗവേഷണങ്ങൾ കാണിക്കുന്നു. ഉപരിതല മൈക്രോ-നാനോ ഘടനകൾ തയ്യാറാക്കുന്നത് മെറ്റീരിയലിന്റെ ഗുണങ്ങൾ തന്നെ മെച്ചപ്പെടുത്താനും പുതിയ വസ്തുക്കളുടെ വികസനം സാധ്യമാക്കാനും കഴിയും. ഇത് അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ ഉപയോഗിച്ച് ഉപരിതല മൈക്രോ-നാനോ ഘടനകൾ തയ്യാറാക്കുന്നത് പ്രധാനപ്പെട്ട വികസന പ്രാധാന്യമുള്ള ഒരു സാങ്കേതിക രീതിയാക്കുന്നു. നിലവിൽ, ലോഹ വസ്തുക്കളെ സംബന്ധിച്ചിടത്തോളം, അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ ഉപരിതല ടെക്സ്ചറിംഗിനെക്കുറിച്ചുള്ള ഗവേഷണം ലോഹ ഉപരിതല നനവ് ഗുണങ്ങൾ മെച്ചപ്പെടുത്താനും, ഉപരിതല ഘർഷണവും വസ്ത്രധാരണ ഗുണങ്ങളും മെച്ചപ്പെടുത്താനും, കോട്ടിംഗ് അഡീഷൻ വർദ്ധിപ്പിക്കാനും, കോശങ്ങളുടെ ദിശാസൂചന വ്യാപനവും അഡീഷനും വർദ്ധിപ്പിക്കാനും കഴിയും.

ചിത്രം 8. ലേസർ തയ്യാറാക്കിയ സിലിക്കൺ പ്രതലത്തിന്റെ സൂപ്പർഹൈഡ്രോഫോബിക് ഗുണങ്ങൾ

ഒരു നൂതന പ്രോസസ്സിംഗ് സാങ്കേതികവിദ്യ എന്ന നിലയിൽ, അൾട്രാഫാസ്റ്റ് ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗിന് ചെറിയ താപ-ബാധിത മേഖല, മെറ്റീരിയലുകളുമായുള്ള നോൺ-ലീനിയർ ഇന്ററാക്ഷൻ പ്രക്രിയ, ഡിഫ്രാക്ഷൻ പരിധിക്കപ്പുറം ഉയർന്ന റെസല്യൂഷൻ പ്രോസസ്സിംഗ് എന്നിവയുടെ സവിശേഷതകളുണ്ട്. വിവിധ വസ്തുക്കളുടെ ഉയർന്ന നിലവാരമുള്ളതും ഉയർന്ന കൃത്യതയുള്ളതുമായ മൈക്രോ-നാനോ പ്രോസസ്സിംഗ് ഇതിന് സാക്ഷാത്കരിക്കാൻ കഴിയും. ത്രിമാന മൈക്രോ-നാനോ ഘടന നിർമ്മാണം. പ്രത്യേക വസ്തുക്കളുടെയും സങ്കീർണ്ണമായ ഘടനകളുടെയും പ്രത്യേക ഉപകരണങ്ങളുടെയും ലേസർ നിർമ്മാണം കൈവരിക്കുന്നത് മൈക്രോ-നാനോ നിർമ്മാണത്തിന് പുതിയ വഴികൾ തുറക്കുന്നു. നിലവിൽ, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പല അത്യാധുനിക ശാസ്ത്ര മേഖലകളിലും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കപ്പെടുന്നു: മൈക്രോലെൻസ് അറേകൾ, ബയോണിക് സംയുക്ത കണ്ണുകൾ, ഒപ്റ്റിക്കൽ വേവ്ഗൈഡുകൾ, മെറ്റാസർഫേസുകൾ തുടങ്ങിയ വിവിധ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഉപകരണങ്ങൾ തയ്യാറാക്കാൻ ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ ഉപയോഗിക്കാം; അതിന്റെ ഉയർന്ന കൃത്യതയും ഉയർന്ന റെസല്യൂഷനും ഉപയോഗിച്ച്, ത്രിമാന പ്രോസസ്സിംഗ് കഴിവുകൾ ഉപയോഗിച്ച്, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസറിന് മൈക്രോഹീറ്റർ ഘടകങ്ങൾ, ത്രിമാന മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക് ചാനലുകൾ തുടങ്ങിയ മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക്, ഒപ്‌റ്റോഫ്ലൂയിഡിക് ചിപ്പുകൾ തയ്യാറാക്കാനോ സംയോജിപ്പിക്കാനോ കഴിയും; കൂടാതെ, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസറിന് വിവിധ തരം ഉപരിതല മൈക്രോ-നാനോസ്ട്രക്ചറുകൾ തയ്യാറാക്കാനും ആന്റി-റിഫ്ലെക്ഷൻ, ആന്റി-റിഫ്ലെക്ഷൻ, സൂപ്പർ-ഹൈഡ്രോഫോബിക്, ആന്റി-ഐസിംഗ്, മറ്റ് പ്രവർത്തനങ്ങൾ എന്നിവ നേടാനും കഴിയും; മാത്രമല്ല, ബയോമെഡിസിൻ മേഖലയിലും ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പ്രയോഗിച്ചിട്ടുണ്ട്, ബയോളജിക്കൽ മൈക്രോ-സ്റ്റെന്റുകൾ, സെൽ കൾച്ചർ സബ്‌സ്‌ട്രേറ്റുകൾ, ബയോളജിക്കൽ മൈക്രോസ്കോപ്പിക് ഇമേജിംഗ് തുടങ്ങിയ മേഖലകളിൽ മികച്ച പ്രകടനം കാണിക്കുന്നു. വിശാലമായ ആപ്ലിക്കേഷൻ സാധ്യതകൾ. നിലവിൽ, ഫെംറ്റോസെക്കൻഡ് ലേസർ പ്രോസസ്സിംഗിന്റെ ആപ്ലിക്കേഷൻ ഫീൽഡുകൾ വർഷം തോറും വികസിച്ചുകൊണ്ടിരിക്കുന്നു. മുകളിൽ സൂചിപ്പിച്ച മൈക്രോ-ഒപ്റ്റിക്സ്, മൈക്രോഫ്ലൂയിഡിക്സ്, മൾട്ടി-ഫങ്ഷണൽ മൈക്രോ-നാനോസ്ട്രക്ചറുകൾ, ബയോമെഡിക്കൽ എഞ്ചിനീയറിംഗ് ആപ്ലിക്കേഷനുകൾ എന്നിവയ്ക്ക് പുറമേ, മെറ്റാസർഫേസ് തയ്യാറെടുപ്പ് പോലുള്ള ചില ഉയർന്നുവരുന്ന മേഖലകളിലും ഇത് വലിയ പങ്ക് വഹിക്കുന്നു. , മൈക്രോ-നാനോ നിർമ്മാണം, മൾട്ടി-ഡൈമൻഷണൽ ഒപ്റ്റിക്കൽ ഇൻഫർമേഷൻ സ്റ്റോറേജ് മുതലായവ.